1、真空回火爐應該具有快冷裝置。冷卻水的壓力應該大於0.2Mpa，流量應可調。
2、升溫：放入工件後，一般先預抽至6.67Pa時方可升溫加熱
3、升溫過程中，工件及爐內材料會放氣，使真空度下降。
4、冷卻氣體：鋼一般采用百分之99.995純度的氮氣，高溫合金采用百分之99.999的氮氣或氬氣，鈦合金采用百分之99.995的氬氣。
5、真空爐活動連接部分全部采用O型橡膠圈密封連接，此部分均通水冷卻。
6、茶山熱處理真空回火、真空退火、真空固溶處理及真空時效的加熱溫度一般與常規處理時加熱溫度相同。
7、工件在真空狀態下淬火，應使用真空淬火油，此油具有較低的飽和蒸氣壓。
8、真空爐的保養應在真空或充純氮狀態下，避免平時不用時吸氣，吸潮。
9、茶山熱處理國內真空爐的壓升率應不大於1.33Pa/h ，國外某些企業的標準為0.67Pa/h